172nm准分子照射技术
得益于与日本千代田工贩株式会社的宝贵合作关系，我们能够为各种高科技和工业应用提供来自世界知名和行业领先制造商 Ushio 的卓越 172nm 准分子辐照技术。
这些灯具由技艺精湛的工匠精心制作，秉持对卓越的坚定承诺，采用符合严格制造标准的高质量材料，以确保没有杂质或缺陷。
Ushio 准分子灯的峰值波长为172nm，最高可定制至280nm，并配备专门设计的电源。灯的功率、长度和直径可以修改，以适应几乎所有现有设备或为任何新设备特别设计。
在ISO 9001认证的设施中进行制造，且专注于质量控制和提高大规模生产能力，使 Ushio 能够稳定供应和成为保持质量高度一致的理想 OEM 合作伙伴。
真空紫外线
真空紫外线（VUV）是一种需要真空环境才能自由传播的紫外线。VUV光谱涵盖了 120 至 240 纳米之间的所有波长。大多数大气气体完全吸收这些波长的光，但有一些特定波长的气体允许这些射线通过。
准分子真空紫外线 (VUV) 是一种强大的光能形式，可通过充满惰性气体或惰性气体化合物的灯产生。
当从外部源施加高能量时，这些灯会产生介质阻挡放电等离子体，激发气体原子，使其瞬间产生准分子态 (Xe)。当原子的激发态恢复到其原始状态时，会发射准分子态特有的光谱。这种发射光被称为准分子真空紫外线 (VUV)。
172nm 准分子灯结构
Ushio 数十年的投资和努力在准分子照射灯领域取得了突破——无论是圆形管还是扁平管——仅发射172纳米的单一波长，以满足所有特定的工业和技术需求。
172nm准分子灯的特点
- 优秀的单色性、集中紫外输出能量和高紫外强度，最高可达100 mW/cm²。
- 非相干光有利于大面积处理，避免了传统光源中固有的电极腐蚀，显著延长使用寿命。
- 瞬时开/关能力，无需预热或快门要求，切换频率不会影响使用寿命。
- 在启动和操作过程中不受环境温度影响; 它是冷光源，不发射红外辐射，从而对被处理物体的加热效应最小。
- 绿色环保生产，无需汞，避免二次污染，便于回收。
关键技术优势
172nm 准分子灯的应用
- 表面清洗：用于半导体晶圆和平面显示器的清洗过程，以去除光刻胶。
- 表面蚀刻和改性：应用于聚酰亚胺和氟化物等材料。
- 低压光化学气相沉积（Photo-CVD）：用于在电子基板上沉积薄膜，如Ta₂O₅和HfO₂。
- 光氧化和光热退火：增强SiO₂薄膜的化学化学计量比。
- 室温光催化金属化：在塑料表面沉积金属电极。
- 表面活化：改善表面张力和润湿性。
- 有机降解：用于去除总有机碳（TOC）、农药降解和染料废水脱色。
- 高纯度臭氧生成。
工业应用示例
以下是172纳米准分子灯在技术角度上的一些关键工业应用。这些灯在半导体、平板显示/LCD/OLED、医疗、医药行业，以及汽车零部件和电动汽车电池行业，以及印刷行业中被广泛使用。它们提供了显著的技术优势，提高了生产效率，并帮助许多新的创新、发明和想法变为现实。
Ushio 172nm 准分子照射设备
Ushio 为172nm准分子辐照技术提供全面的解决方案。其结构精良的辐照装置配有专门设计的反射镜和灯罩以及电源。除了 Ushio 高效卓越的技术和客户服务外，这些准分子辐照装置还符合最高的卓越标准，并且可以经济高效地采用。客户可以用非常友好的“即插即用”方式使用它们。
以用户为中心，旨在提高客户便利性，这些创新单元被特别设计为易于安装，并能够与原始设备无缝配合，从而提供卓越的即插即用功能，最大限度地减少设置时间。
凭借 Ushio 无与伦比的服务和技术支持，我们致力于确保客户通过利用独特的172nm技术产品而获得显著增强的经济效益和生产技术优势，且远远超过传统产品与方法。
参考示例：HP-V 系列
下面是 HP-V 系列两种常见型号的图示介绍，它们配有172nm准分子灯管、配有专门设计的反射镜的灯箱，以及集成的客制化电子电源，可为用户提供即插即用的便利功能。
高辐照度类型，宽度为510毫米
高照射度类型，宽度为1500mm
定制电源
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